利用带有尖锐单晶金刚石探针的原子力显微镜在硬表面上进行脉冲力纳米光刻
介观与纳米尺度物理
2013-12-04 v1
摘要
提出了一种基于原子力显微镜 (AFM) 的纳米光刻技术。该方法能够利用尖锐探针进行快速的逐点压痕。当与单晶金刚石探针结合使用时，该技术能够在硅或金属等硬材料中制造高深宽比的沟槽。文中展示了在 Si 表面制造的沟槽阵列实例，其间距为 30-100 nm，深度为 5-32 nm。演示了对 63 nm 厚的金属磁性薄膜的切割。利用磁力显微镜对所得结构进行了研究。
引用
@article{arxiv.1312.0796,
title = {Pulse force nanolithography on hard surfaces using atomic force microscopy with a sharp single-crystal diamond tip},
author = {Alexei Temiryazev},
journal= {arXiv preprint arXiv:1312.0796},
year = {2013}
}