低频交流电源产生的低压 Ar-O2 等离子体的初步探索
等离子体物理
2024-05-10 v1
摘要
本研究报道了一种使用低频交流（AC）电源作为产生低压电容耦合 Ar-O2 等离子体的新方法，该方法在成本、紧凑性和操作简便性方面具有优势，这对于材料科学和生物应用至关重要。本文通过考察电子密度、电子温度和电子能量分布函数（EEDF）等关键等离子体参数，研究了低频交流产生的等离子体相对于传统射频（RF）系统的有效性。实验结果表明，交流电源能够有效产生具有与射频系统相当特性的低压 Ar-O2 等离子体。最值得注意的是，交流产生的等离子体实现了细菌生长的显著减少，表明其有潜力作为增强灭菌和材料处理中等离子体辅助应用的一种更经济、更灵活的替代方案。
引用
@article{arxiv.2405.05739,
title = {Preliminary Exploration on the Low-Pressure Ar-O2 Plasma Generated by Low-Frequency Alternating Current (AC) Power Supply},
author = {Niaz Wali and W. W. Xiao and Q. U. Din and N. U. Rehman and C. Y. Wang and J. T. Ma and W. J. Zhong and Q. W. Yang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.05739},
year = {2024}
}
备注
16 pages, 7 figures