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AlN微盘谐振器中10 GHz振动的相位敏感成像

仪器与探测器 2018-01-17 v1 应用物理 光学

摘要

我们展示了一种工作频率高达10 GHz的高频相位敏感外差振动计。利用该外差振动计,我们以约0.36皮米的位移灵敏度(在1 Hz分辨率带宽下)绘制了AlN光机微盘谐振器的基本厚度模态、径向基模及二阶模态的振幅与相位场。振幅与相位的同步测量实现了精确的模态识别与表征。所记录的模态频率与轮廓与数值模拟结果一致。该振动计将对高频机械器件的发展具有重要意义。

关键词

引用

@article{arxiv.1712.01273,
  title  = {Phase sensitive imaging of 10 GHz vibrations in an AlN microdisk resonator},
  author = {Zhen Shen and Xu Han and Chang-Ling Zou and Hong X. Tang},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1712.01273},
  year   = {2018}
}