为 DarkSHINE 实验设计的 AC-LGAD 条带传感器的性能

交流耦合低增益雪崩探测器（AC-LGAD）是近年来发展起来的一种新型精密探测技术。基于标准低增益雪崩探测器（LGAD）技术，AC-LGAD 传感器可提供优异的时间性能和空间分辨率。本文介绍了用于 DarkSHINE 跟踪系统的几种 AC-LGAD 条带传感器原型的设计与性能，以及来自具有不同 $n^+$ 剂量的两批晶圆的原型传感器的电学特性和空间分辨率。具有 100$\mu m$ 节距尺寸的 AC-LGAD 传感器实现了 6.5$\mathrm{\mu m}$ $\sim$ 8.2$\mathrm{\mu m}$ 和 8.8$\mathrm{\mu m}$ $\sim$ 12.3$\mathrm{\mu m}$ 的空间分辨率范围。