IHEP 与 IME 为 ATLAS HGTD 项目研制的具有良好时间分辨率的低增益雪崩探测器
仪器与探测器
2022-05-04 v2
摘要
本文展示了由中国科学院高能物理研究所(IHEP)设计、中国科学院微电子研究所(IME)制造的 50um 厚低增益雪崩探测器(LGAD)传感器的仿真与测试结果。已制备三片晶圆，每片具有四种不同的增益层注入剂量。采用了不同的生产工艺，包括 n++ 层注入能量与碳共注入的变化。测试结果表明，增益层剂量较高的 IHEP-IME 传感器具有更低的击穿电压以及由电容-电压特性得出的更高增益层电压，这与 TCAD 仿真一致。β 测试结果显示，IHEP-IME 传感器在高电压下工作时时间分辨率优于 35ps，且辐照前收集电荷大于 15fC，满足 ATLAS HGTD 项目对辐照前传感器的指标要求。
引用
@article{arxiv.2109.11209,
title = {Low Gain Avalanche Detectors with Good Time Resolution Developed by IHEP and IME for ATLAS HGTD project},
author = {Mei Zhao and Xuewei Jia and Kewei Wu and Tao Yang and Mengzhao Li and Yunyun Fan and Gangping Yan and Wei Wang and Mengran Li and Gaobo Xu and Mingzheng Ding and Huaxiang Yin and Jun Luo and Junfeng Li and Xin Shi and Zhijun Liang and João Guimarães da Costa},
journal= {arXiv preprint arXiv:2109.11209},
year = {2022}
}
备注
11 pages,8 figures