利用 CeO2 模板在 SrTiO3 基异质结构中图案化二维电子系统
强关联电子
2016-10-10 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
在 SrTiO3 基氧化物异质结构界面发现的二维电子系统常表现出各向异性电输运，其起源目前尚存争议。为表征沿特定晶体学方向的输运，我们开发了一种基于非晶 CeO2 模板层的硬掩模图案化方法。该技术允许通过常规紫外光刻制备轮廓清晰的微桥，与离子刻蚀或湿化学刻蚀等标准技术相比，不会引起界面电导的任何退化。本文详细描述了该图案化方案，并展示了基于非晶 Al2O3-SrTiO3 异质结构的微桥的成功制备。在 T < 30 K 时观察到显著的各向异性输运，这主要与这些异质结构中电荷载流子的杂质/缺陷散射有关。
引用
@article{arxiv.1610.02186,
title = {Patterning of two-dimensional electron systems in SrTiO3 based heterostructures using a CeO2 template},
author = {D. Fuchs and K. Wolff and R. Schäfer and R. Thelen and M. Le Tacon and R. Schneider},
journal= {arXiv preprint arXiv:1610.02186},
year = {2016}
}