基于奇异点的方位感知光机加速度计

我们提出一种光机设计，其由调谐至奇异点简并（EPD）的宇称-时间对称多层结构构成，并含有一层与微机械弹簧耦合的可调层。该层在加速度 ${\alpha}$ 作用下的偏转导致平方根型共振失谐 ${\Delta}{\omega}\equiv{\omega}-{\omega}_{EPD}\propto \sqrt{\alpha}$，从而极大增强对超小加速度 ${\alpha}\ll1$ 的探测。我们的设计可扩展，原则上可支持更高 $N$ 阶 EPD，其灵敏度满足 ${\Delta}{\omega}\propto\sqrt[n]{\alpha}$。它还为新一代片上超灵敏加速度计与振动计提供了途径。