利用飞行时间谱在氦离子显微镜中进行纳米尺度元素分析
仪器与探测器
2015-12-21 v3
摘要
飞行时间背散射谱 (ToF-BS) 已成功在氦离子显微镜 (HIM) 中实现。其集成引入了在纳米尺度上进行横向分辨元素分析以及元素深度剖析的能力。实现了 54 nm 的横向分辨率和 17 ns 的时间分辨率。通过利用背散射粒子的能量产生衬度，我们为 HIM 引入了一种新的成像方法，允许直接元素成像以及局部谱分析。此外，利用同一装置还可进行横向分辨的飞行时间二次离子质谱 (ToF-SIMS)。飞行时间通过对初级离子束进行脉冲化来实现。这是以经济且最小侵入性的方式完成的，在标准的二次电子 (SE) 成像模式下操作时不会影响显微镜的高分辨率能力。因此，该技术可轻松适配到现有设备。文中描述了 ToF-BS 和 ToF-SIMS 技术的具体实现，给出了结果，并讨论了这些新技术的优势、困难和局限性。
引用
@article{arxiv.1510.04594,
title = {Nanometer scale elemental analysis in the helium ion microscope using time of flight spectrometry},
author = {Nico Klingner and René Heller and Gregor Hlawacek and Johannes von Borany and John Notte and Jason Huang and Stefan Facsko},
journal= {arXiv preprint arXiv:1510.04594},
year = {2015}
}