原子层沉积颗粒涂层规模化建模
材料科学
2024-12-04 v2 应用物理
化学物理
摘要
原子层沉积(ALD)是功能化能源应用（包括能源存储、催化和脱碳）颗粒表面积的有前景技术。本文我们 presented 一套用于探索从实验室规模向制造规模过渡的颗粒涂层模型。我们的模型涵盖了主要的颗粒涂层制造方法，包括旋转床、流化床和连续振动反应器。这些模型提供关键指标，如通量和前体利用率，用于评估ALD制造方法的规模化潜力及其在能源应用中的可行性。我们的结果表明，强制前体通过流化颗粒的设计会更快地过渡到输运受限 regime，从而最大化通量。它们还表现出更高的前体利用率。在连续工艺的背景下，我们的模型指表明可以在接近100%的前体利用率下实现自熄制程。与ALD在流化床反应器中的过去实验结果的比较表明，其在定性和定量上都与之高度一致。
引用
@article{arxiv.2408.13116,
title = {Modeling scale-up of particle coating by atomic layer deposition},
author = {Angel Yanguas-Gil and Jeffrey W. Elam},
journal= {arXiv preprint arXiv:2408.13116},
year = {2024}
}