脉冲ICP放电中使用发夹谐振探针的微秒分辨电子密度测量
等离子体物理
2017-02-09 v2
摘要
使用发夹谐振探针配合低成本电子学展示了脉冲射频放电中的时间分辨电子密度测量，其性能与常规Langmuir探针boxcar模式操作相当。已展示小于1微秒的时间分辨率。信号发生器产生所施加的微波频率；反射波形通过定向耦合器并滤波以去除射频分量。信号经频率混合器外差由示波器读取。在脉冲的某些时刻，等离子体密度使得施加频率与探针/等离子体系统的谐振频率相同，从而在反射信号中产生凹陷。施加的微波频率在频率boxcar例程中以微小增量偏移，以确定密度随时间的变化函数。该系统使用接地探针实现低成本、高保真、高重现性的电子密度测量，并可在恶劣化学环境中工作。测量在电感耦合系统中进行，该系统由13.56 MHz单频脉冲发生器驱动，并与文献结果进行了比较。
引用
@article{arxiv.1601.06811,
title = {Microsecond resolved electron density measurements with a hairpin resonator probe in a pulsed ICP discharge},
author = {David Peterson and David Coumou and Lynda Larson and Steven Shannon},
journal= {arXiv preprint arXiv:1601.06811},
year = {2017}
}
备注
Not submitted to RSI because another very similar paper had already been previously published by another author