直流大气压微放电的射频阻抗测量
等离子体物理
2016-05-02 v1
摘要
大气压微等离子体的现有诊断手段仍然有限且实施相对复杂；因此我们提出一种射频技术用于诊断此处的一个关键参数。该技术通过测量微等离子体的射频阻抗并用合适的等效电路进行分析，来估计电子密度的依赖关系。该技术成本低廉，可实时使用，并在宽压力范围内对孔中的氩和氦直流微等离子体给出了合理结果。电子密度在预期范围内随电流线性增加，这与正常辉光放电行为一致。
引用
@article{arxiv.1604.08794,
title = {RF impedance measurements of DC atmospheric micro-discharges},
author = {Lawrence J. Overzet and D. Jung and Monali Mandra and Matthew Goeckner and Thierry Dufour and Remi Dussart and Philippe Lefaucheux},
journal= {arXiv preprint arXiv:1604.08794},
year = {2016}
}