利用发夹谐振器探针测量电子中性粒子碰撞频率
等离子体物理
2017-09-11 v1
摘要
在 27 MHz 平行板电容耦合等离子体（CCP）中，使用接地与浮置发夹谐振器探针测量了电子中性粒子碰撞频率。工作条件为 0.1-2 Torr (13.3-267 Pa)，气体为 Ar、He 及 Ar-He 混合气体。该方法将发夹探针视为浸没在介电介质中的双线传输线。在压力和鞘层校正过程中，通过对假定的碰撞频率进行扫描并应用最小化方法，以获得测得的碰撞频率。结果与混合等离子体设备模块（HPEM）模拟进行了比较，显示出良好的一致性。
引用
@article{arxiv.1703.09334,
title = {Electron neutral collision frequency measurement with the hairpin resonator probe},
author = {David J Peterson and Philip Kraus and Thai Cheng Chua and Lynda Larson and Steven C Shannon},
journal= {arXiv preprint arXiv:1703.09334},
year = {2017}
}
备注
8 pages, 7 figures, Submitted to Plasma Sources Science and Technology