通过间苯二酚-甲醛凝胶图案微缩化制备碳结构微加工
软凝聚态物质
2010-09-21 v1
摘要
提出并演示了一种简单新颖的方法，用于在玻璃碳中制备和微缩化表面及亚表面微结构与微图案。采用间苯二酚-甲醛(RF)水溶胶对要复制的母版图案进行微模塑，随后通过受控干燥和凝胶热解，在碳中复制出各向同性收缩的复制品。通过重复上述模塑和干燥循环三次，在碳中复制的母版图案微缩版本比原始母版小约一个数量级。所提出的微加工方法将极大丰富用于便捷制备各种碳基微机电系统(Carbon-MEMS)和碳微流控器件的工具箱。
引用
@article{arxiv.1009.3703,
title = {Micro-fabrication of Carbon Structures by Pattern Miniaturization in Resorcinol-Formaldehyde Gel},
author = {Chandra S. Sharma and Ankur Verma and Manish M. Kulkarni and Devendra K. Upadhyay and Ashutosh Sharma},
journal= {arXiv preprint arXiv:1009.3703},
year = {2010}
}
备注
16 pages, 5 figures