Iris AO 分段式 MEMS 可变形反射镜的长期稳定性与温度变化

可变形反射镜 (DM) 的长期稳定性是要求开环校正的仪器的关键性能指标。DM 性能受温度变化的影响对此类仪器同样至关重要。本文研究了三个不同的 Iris AO PTT111 DM 的长期稳定性，这些 DM 在后续测试前 13 个月至近 29 个月的不同时间进行了校准。性能测试表明，从初始校准日期到测试日期，仅出现了微小的定位误差增加。误差增加范围从 18 个月后的 1.38 nm rms 到 29 个月后的 5.68 nm rms 不等。本文还研究了室温附近最高达 6.2{\deg}C 的微小温度变化的影响。对于三个不同的阵列，误差范围为 0.62-1.42 nm rms/{\deg}C。消除封装效应后表明，误差 $\le$0.50 nm rms/{\deg}C。最后，测量数据表明，单个分段在加热时变形 $\le$0.11 nm rms/{\deg}C。