MagAO-X 项目可变形镜的表征

MagAO-X 仪器是 Magellan AO 系统的升级版，将引入极端自适应光学能力以用于可见光和近红外波长下的高对比度成像。该系统的核心组件是来自 Boston Micromachines Corp.（BMC）的 2040 促动器微机电（MEMS）可变形镜（DM），其将以 3.63 kHz 运行以进行高阶波前控制。来自 ALPAO 的另外两个 DM 将执行低阶和非共路科学臂波前校正。波前校正的精度受限于我们将这些 DM 驱动至期望形状的能力，这需要对每个 DM 表面进行仔细表征。我们开发了一个表征流程，使用 Zygo Verifire 干涉仪测量表面响应，并利用 Karhunen-Loève 变换从测量中去除噪声。我们展示了表征过程的进展，以及我们的流程应用于 ALPAO DM97 和 BMC Kilo-DM 的结果，证明了在亚利桑那大学波前控制（UAWFC）测试台上将 DM 驱动至光束足迹内 RMS 分别为 $\lesssim$ 2nm 和 $\lesssim$ 4nm 的平面的能力。