Fe-2Si 在 Si (111) 上不同厚度高温共沉积形成的硅化铁
材料科学
2011-09-23 v1
摘要
Fe 和 2Si 在 853 K 下共沉积于 Si (111) 表面。通过穆斯堡尔谱学和电子显微镜研究了硅化物的形成。根据沉积薄膜厚度的不同，形成了不同的相。在低厚度下，观察到稳定的 -FeSi (B20) 相和亚稳态的 [CsCl]-FeSi (B2) 相。在后一种情况下，由于晶格中存在 Fe 空位，铁组分周围的局部对称性低于立方对称性。在较大的沉积厚度（12 nm）下，形成了稳定的 -FeSi。
引用
@article{arxiv.1109.4825,
title = {Ironsilicide formation by high temperature codeposition of Fe-2Si with different thicknesses on Si (111)},
author = {I. Dézsi and Cs. Fetzer and F. Tanczikó and P. B. Barna and O. Geszti and G. Sáfrán and L. Székely},
journal= {arXiv preprint arXiv:1109.4825},
year = {2011}
}