考虑等离子体面材料相关工艺的脉冲放电等离子体能量分布研究
等离子体物理
2025-12-02 v1
摘要
考虑脉冲放电等离子体对等离子体面材料及其涉及的涂层、清洗和表面处理等应用，本工作旨在调查直流脉冲放电等离子体离子的能量。为此目标，首先通过COMSOL多物理场软件模拟了等离子体腔体。随后模拟并设计了一个带电网的能量分析仪。下一步构建并测试了该分析仪，用于测量等离子体离子的能量。该装置包含一个电网，其电位与脉冲放电阴极电极相同，从而根据因她膜电位下降加速而在与阴极碰撞前对等离子体离子进行能量鉴别。实验得到的能量分布函数与模拟等离子体的结果进行了比较。实验结果表明，直流脉冲放电等离子体中存在不同群体的离子，每一群体在局部热平衡中。
引用
@article{arxiv.2512.00533,
title = {Investigation of glow discharge plasma energy distribution using a gridded energy analyzer considering plasma-facing materials related processes},
author = {Ali Masoudi and Davoud Iraji},
journal= {arXiv preprint arXiv:2512.00533},
year = {2025}
}
备注
This work has been published in Fusion Engineering and Design, DOI: https://doi.org/10.1016/j.fusengdes.2025.114862