磁控管等离子体中高能电子能量分布函数的解析模型
等离子体物理
2015-01-15 v3
摘要
本文分析了磁化技术等离子体（如直流磁控管放电和 HiPIMS 系统）中的一种常见情形：二次电子在阴极位降区加速后进入等离子体，并遇到近乎均匀的体区。本文提出了热电子分布函数的解析计算；这些电子被描述为初始单能束，通过与具有麦克斯韦分布的体区（冷）电子发生库仑碰撞以及与中性粒子发生非弹性碰撞而减速。尽管该解析解基于稳态假设，但对特征时间尺度的比较表明，它可能适用于各种实际的非稳态放电，并可用于在基于麦克斯韦电子假设的模型中引入动力学效应。结果通过与 HiPIMS 放电参数相适应的含时全动力学数值计算进行了验证。
引用
@article{arxiv.1411.6793,
title = {Analytic model of the energy distribution function for highly energetic electrons in magnetron plasmas},
author = {Sara Gallian and Jan Trieschmann and Thomas Mussenbrock and Ralf Peter Brinkmann and William N. G. Hitchon},
journal= {arXiv preprint arXiv:1411.6793},
year = {2015}
}