高功率脉冲磁控溅射放电中的电子能量分布函数
等离子体物理
2021-03-22 v1 应用物理
摘要
我们应用电离区模型(IRM)与耦合电离及激发态动力学的奥赛电子玻尔兹曼方程(OBELIX)模型研究高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电的电子动力学。在IRM中，体(冷)电子假设服从麦克斯韦能量分布，而由离子轰击靶表面发射的次级(热)电子被视为高能尾；在OBELIX中，电子能量分布由各向同性玻尔兹曼方程自洽计算。两模型以IRM输出作为OBELIX输入的方式相融合。粒子密度的时序演化在两模型间高度吻合。此外，IRM所假设的双麦克斯韦电子能量分布与OBELIX模型计算的电子能量分布也表现出极好的一致性。由此可得出结论：假设由冷体电子群与热次级电子群构成的双麦克斯韦电子能量分布，是建模HiPIMS放电的良好近似。
引用
@article{arxiv.2103.10902,
title = {On the electron energy distribution function in the high power impulse magnetron sputtering discharge},
author = {Martin Rudolph and A. Revel and D. Lundin and H. Hajihoseini and N. Brenning and M. A. Raadu and A. Anders and T. M. Minea and J. T. Gudmundsson},
journal= {arXiv preprint arXiv:2103.10902},
year = {2021}
}