通过瞬态测量研究铁电薄膜中的电荷俘获
材料科学
2022-08-31 v1 应用物理
摘要
本文提出一种测量技术，用于量化铁电薄膜在开关后前100秒内随延迟时间变化的极化损失。该技术可通过分析极化损失的大小和速率来研究铁电薄膜中的电荷俘获。作为示例，在Hf0.5Zr0.5O2（HZO）和HZO/Al2O3薄膜上作为脉冲宽度和温度的函数进行了测量。研究发现，退极化场、内建偏置场和电荷俘获的竞争效应导致极化损失速率对延迟时间呈现特征性的高斯依赖关系。由此，可以确定一个电荷俘获与屏蔽模型，该模型描述了短时间尺度上极化损失的动力学。
引用
@article{arxiv.2206.14593,
title = {Investigating charge trapping in ferroelectric thin films through transient measurements},
author = {Suzanne Lancaster and Patrick D Lomenzo and Moritz Engl and Bohan Xu and Thomas Mikolajick and Uwe Schroeder and Stefan Slesazeck},
journal= {arXiv preprint arXiv:2206.14593},
year = {2022}
}