基于机器学习光学显微镜的二维结构智能识别
材料科学
2019-01-23 v1
摘要
二维（2D）材料及其异质结构凭借晶圆级合成方法与迷人特性，引发了广泛关注并推动了相应器件应用的变革。然而，实现这些二维结构准确、智能、大面积的表征方法仍备受期待。在此，我们报道了机器学习策略在二维结构光学识别中的成功应用。机器学习光学识别方法（MOI 方法）赋予光学显微镜以洞察光学照片中特征颜色信息的智能能力。实验结果表明，MOI 方法可对石墨烯、二硫化钼（MoS2）及其异质结构进行准确、智能、大面积的表征，包括厚度、杂质存在乃至堆垛序的识别。得益于人工智能与纳米科学的融合，该智能识别方法必将推动二维结构的基础研究与晶圆级器件应用。
引用
@article{arxiv.1803.02062,
title = {Intelligent Identification of Two-Dimensional Structure by Machine-Learning Optical Microscopy},
author = {Xiaoyang Lin and Zhizhong Si and Wenzhi Fu and Jianlei Yang and Side Guo and Yuan Cao and Jin Zhang and Xinhe Wang and Peng Liu and Kaili Jiang and Youguang Zhang and Weisheng Zhao},
journal= {arXiv preprint arXiv:1803.02062},
year = {2019}
}