4H-硅碳绝缘体平台上的集成微加热器及其应用
光学
2025-06-19 v1 应用物理
摘要
4H-硅碳绝缘体（4H-SiCOI）平台的近期进展已导致演示了基本构建模块，如低损耗波导和微谐振器。在本工作中，我们通过集成微加热器于紧凑型微谐振器中，为 4H-SiCOI 平台引入了可调性。SiC 的强热光效使 36-μm 半径的 SiC 微环谐振器的共振调谐速率达到 pm/mW，最大波长位移可达 nm（300 GHz）。微加热器的热时间常数估计为近 7 μs，对应 3-dB 电气带宽为 40 kHz。作为潜在应用的演示，我们利用微加热器执行快速热光扫描，以确定 36-μm 半径的微波 comb 源的单色子态。此外，将基于 18-μm 半径的互耦 4H-SiCOI 微环的添加-剥离滤波器与微 comb 源结合，用于选择性滤波单个 comb 线，具有约 5 GHz 的 3-dB 带宽和小于 1 dB 的插入损耗。通过这些演示，我们的工作为 4H-SiCOI 平台带来了所需的可调性和可重构性，为众多芯片规模应用铺平了道路。
引用
@article{arxiv.2506.15035,
title = {Integrated microheater on the 4H-silicon-carbide-on-insulator platform and its applications},
author = {Wenhan Sun and Ruixuan Wang and Jingwei Li and Haipeng Zhang and Zhensheng Jia and Qing Li},
journal= {arXiv preprint arXiv:2506.15035},
year = {2025}
}