用于空气包层微谐振腔频率梳高效光谱调控的集成埋入式加热器
光学
2024-06-12 v1 应用物理
摘要
集成加热器是光子学工具箱中的基本元件，尤其用于通过热光效应进行微谐振腔频率调谐。完全嵌入固体包层（通常为 SiO₂）中的谐振腔可实现无损耗的加热器元件集成。然而，空气包层谐振腔因在短波长色散工程和与原子/分子系统直接接口方面极具价值，通常无法通过标准工艺实现类似的低损耗且高效的集成加热器集成。在此，我们开发了一种新方法，将集成加热器嵌入波导层下方的 SiO₂ 中，相比横向配置可实现更高效的加热以及更任意的加热器走线布线。我们将这些埋入式加热器集成到包含高温（>1000 °C）退火的化学计量 Si₃N₄ 工艺流中。展示了自由光谱范围 1 THz、品质因数接近 10⁶ 的微环谐振腔，其谐振模式被调谐近 1.5 THz，相比带有横向加热器的等效器件有 5× 的提升。最后，我们在此平台上演示了宽带耗散克尔孤子生成，并展示了如何利用这些加热器将相关锁定频率带入可探测范围内。
引用
@article{arxiv.2210.01865,
title = {Integrated Buried Heaters for Efficient Spectral Control of Air-Clad Microresonator Frequency Combs},
author = {Gregory Moille and Daron Westly and Edgar F. Perez and Meredith Metzler and Gregory Simelgor and Kartik Srinivasan},
journal= {arXiv preprint arXiv:2210.01865},
year = {2024}
}