利用等离子体能量膨胀测温法（PEET）提高TEM样品温度测量的准确性：考虑样品厚度效应
材料科学
2024-08-09 v2 仪器与探测器
摘要
分析扫描透射电子显微镜（STEM）和基于微电子机械系统（MEMS）的微加热器的进步，使得在高温下进行纳米尺度的原位材料表征成为可能。除了在高温下解析结构信息外，详细了解样品内部的局部温度分布对于揭示热致现象和过程至关重要。在此，我们研究了等离子体能量膨胀测温法（PEET）作为在室温至700°C范围内绘制钨（W）薄片局部温度分布图的准确性。我们特别研究了典型电子透明TEM样品厚度范围（30 nm至70 nm）对温度相关等离子体能量的影响。用于确定局部样品温度的等离子体能量位移不仅依赖于温度，而且在W的情况下，对于低于约60 nm的样品厚度，还依赖于厚度。结果表明，在使用PEET进行温度测量时，考虑样品厚度（尤其是厚度变化）对于分析局部体等离子体能量至关重要。然而，对于W，随着样品厚度减小，体等离子体峰的束致展宽（FWHM）增加，这可用于提高在样品厚度变化情况下PEET的准确性。
关键词
引用
@article{arxiv.2407.20059,
title = {Improving the Accuracy of Temperature Measurement on TEM samples using Plasmon Energy Expansion Thermometry (PEET): Addressing Sample Thickness Effects},
author = {Yi-Chieh Yang and Luca Serafin and Nicolas Gauquelin and Johan Verbeeck and Joerg R. Jinschek},
journal= {arXiv preprint arXiv:2407.20059},
year = {2024}
}