利用原位原子力显微镜成像脉冲激光沉积氧化物薄膜生长
材料科学
2017-12-11 v1
摘要
为了可视化氧化物薄膜生长过程中的形貌，从而能够准实时地研究其生长行为，我们设计并在一套脉冲激光沉积（PLD）真空装置中集成了一台原子力显微镜（AFM）。AFM扫描台与PLD靶材集成于单一支撑框架内，并结合快速样品转移方法，使得在连续沉积脉冲之后可利用原位显微镜进行观测。该原位显微镜可在室温（RT）至700C以及（工艺）压力从10 mbar的真空本底压力至1 mbar（氧化物薄膜生长的典型PLD条件）范围内运行。该仪器的性能通过在典型氧化物PLD生长条件下分辨单原胞高度表面台阶与表面形貌得到展示。
引用
@article{arxiv.1712.02988,
title = {Imaging Pulsed Laser Deposition oxide growth by in-situ Atomic Force Microscopy},
author = {W. A. Wessels and T. R. J. Bollmann and D. Post and G. Koster and G. Rijnders},
journal= {arXiv preprint arXiv:1712.02988},
year = {2017}
}
备注
8 pages, 8 figures