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有限电导多腔真空系统中的均匀压力衰减

流体动力学 2023-03-20 v1

摘要

我们推导了在具有不同体积且均连接同一真空泵的多腔真空系统中使压力下降均匀化的管连接几何参数。我们首先推导了单腔中有限电导管路的压力下降。接着,我们推导出一个解,给出各腔与泵之间各管连接的半径与长度,以使所有腔中的压力下降均匀化。

关键词

引用

@article{arxiv.2303.09745,
  title  = {Homogeneous pressure decay in multi-chamber vacuum system with finite conductance},
  author = {Fernando F. Dall'Agnol and Felipe Vieira and Francisco T. Degasperi},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2303.09745},
  year   = {2023}
}

备注

14 pages, 4 figures, 1 Table, 5 references