高品质因子氮化铝光子晶体纳米梁腔
光学
2012-06-13 v1
摘要
我们展示了氮化铝(AlN)光子晶体纳米梁腔中的高光学品质因子。采用自保护释放工艺，在溅射沉积的绝缘体上AlN衬底中制备出悬浮AlN光子晶体纳米梁。利用与集成光路耦合的一维光子晶体腔，我们测得高达146,000的品质因子。通过改变波导与腔的耦合间隙，获得了超过15 dB的消光比。我们的研究结果为由低损耗、宽透明、非线性光学材料体系制成的集成光子带隙结构打开了大门。
引用
@article{arxiv.1205.1405,
title = {High-Q aluminum nitride photonic crystal nanobeam cavities},
author = {W. H. P. Pernice and C. Xiong and C. Schuck and H. X. Tang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1205.1405},
year = {2012}
}