离子束分析中最小化束流诱导损伤的最佳实践手册
材料科学
2013-03-14 v1
摘要
本手册旨在为使用离子束分析（IBA）的科学家提供资源，帮助他们理解和最小化分析过程中引起的束流损伤。从离子束分析过程中束流诱导损伤的角度，介绍了离子-物质相互作用的基本物理，适合研究生水平。介绍了广泛使用的IBA技术如背散射谱学（RBS）、核反应分析（NRA）、弹性反冲探测分析（ERDA）和粒子诱导X射线发射（PIXE）中损伤的特殊性，随后介绍了不同类别材料（如金属、半导体或聚合物）分析过程中诱导损伤的章节。包含全面的参考文献。
引用
@article{arxiv.1303.3171,
title = {Handbook on Best Practice for Minimising Beam Induced Damage during IBA},
author = {D. Benzeggouta and I. Vickridge},
journal= {arXiv preprint arXiv:1303.3171},
year = {2013}
}