用于研究等离子体 - 表面相互作用的粒子束实验：在磁控溅射和聚合物处理中的应用
等离子体物理
2013-06-07 v1 材料科学
摘要
本文介绍了一种用于研究与等离子体 - 表面相互作用相关的非均相反应的束流实验。原子束和离子束被聚焦到样品上，使其暴露于定量的氧、氮、氢、惰性气体离子和金属蒸气束流中。利用石英晶体微天平 (QCM) 和傅里叶变换红外光谱 (FTIR) 对非均相表面过程进行原位实时监测。两个实例展示了该粒子束装置的能力：作为反应磁控溅射过程中靶中毒模型的铝的氧化和氮化，以及聚合物（PET、PP）的等离子体处理。
引用
@article{arxiv.1306.1431,
title = {Particle beam experiments for the investigation of plasma-surface interactions: application to magnetron sputtering and polymer treatment},
author = {Carles Corbella and Simon Grosse-Kreul and Oliver Kreiter and Teresa de los Arcos and Jan Benedikt and Achim von Keudell},
journal= {arXiv preprint arXiv:1306.1431},
year = {2013}
}
备注
30 pages, 10 figures