面向量子应用的12英寸玻璃晶圆上功能性表面离子阱
原子物理
2020-02-27 v1 量子物理
摘要
我们报道了采用标准CMOS兼容后道工艺在12英寸玻璃衬底上大规模制备完全可用的射频（RF）表面离子阱。利用已成熟的12英寸代工厂电镀Cu加Au表面的后道工艺，直接在玻璃晶圆衬底上制备表面电极。我们通过加载激光冷却的88Sr+离子对其中一个阱进行了测试。该阱在33 MHz频率、100–230 V射频幅度范围内稳定运行。在真空室压强为5×10⁻¹¹ mbar时，离子寿命约为30分钟，这展示了未来利用标准代工厂工艺在CMOS兼容且低成本平台上实现量子计算系统的令人振奋的潜力。
引用
@article{arxiv.2002.11470,
title = {Functional surface ion traps on a 12-inch glass wafer for quantum applications},
author = {J Tao and J Likforman and P Zhao and H. Li and T Henner and Y Lim and W Seit and Luca Guidoni and C Tan},
journal= {arXiv preprint arXiv:2002.11470},
year = {2020}
}