由碳化硅薄膜制造的弯曲板波器件
材料科学
2007-05-23 v1
摘要
本文介绍了由碳化硅（SiC）薄膜制造的弯曲板波（FPW）器件，其传递函数中展现的电学和机械特性使其作为低压探测器件非常有用，能够在普通器件通常无法进入的小区域内工作。这种电流驱动器件的低输入阻抗特性使其能够在非常低的电压下工作，从而降低了对易燃或易爆区域进行探测的危险。弯曲板波（FPW）器件属于重力型传感器家族，允许直接测量振动元件的质量。主要目标是研究碳化硅（SiC）薄膜作为桑迪亚国家实验室开发的弯曲板波器件中氮化硅（SiN）薄膜替代品的适用性。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0205318,
title = {Flexural Plate Wave Devices Fabricated from Silicon Carbide Membranes},
author = {Ndeye Fama Diagne and James Lindesay and Michael Spencer},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0205318},
year = {2007}
}