用于谐振微波等离子体射流的电容调谐 SIW 消逝模腔
等离子体物理
2024-12-18 v1 应用物理
摘要
本文介绍了一种利用消逝模腔谐振器技术的新型大气压、频率可调微波等离子体射流。该设计采用基片集成波导方法，将两块 PCB 基板组装以构成谐振微波等离子体射流结构。该配置在整个调谐范围内提供了优异的匹配性能，并且能够以仅几瓦的最小输入功率生成高效节能的等离子体射流。原型的谐振频率可从 2.94 GHz（无调谐电容）调谐至 2.66 GHz（当与顶部 PCB 板上蚀刻的圆形槽并联的电容变化至 1.6 pF 时）。本文提出了该原型的一种新颖电路模型设计方法，所制造原型的测量性能与仿真结果之间的良好一致性验证了该模型。所实现的频率可调性是一个关键特性，适用于通过低成本 PCB 制造来微调等离子体射流，以及通过改变点火频率来操控等离子体化学反应至关重要的应用。
引用
@article{arxiv.2412.12332,
title = {Capacitive-Tuned SIW Evanescent-Mode Cavity for Resonant Microwave Plasma Jet},
author = {Kazi Sadman Kabir and Abbas Semnani},
journal= {arXiv preprint arXiv:2412.12332},
year = {2024}
}