基于高质量单晶 CVD 金刚石的快速响应深紫外光电探测器
仪器与探测器
2020-02-07 v1 应用物理
摘要
我们在同质外延金刚石上采用光刻技术制备了具有叉指状 Ti/Au 平面电极的高性能快速响应深紫外(UV)光电探测器。该器件在 213 nm 处表现出高紫外光电流，在 30 V 偏置电压下比暗电流高八个数量级。此外，利用机械方法和脉冲 213 nm 激光的时间分辨光响应测量表明，其具有良好的循环特性、低持久光电导以及可达 2.4 ns 的瞬态时间分辨响应。
引用
@article{arxiv.2002.02217,
title = {Fast response deep-ultraviolet photodetector based on high-quality single-crystalline CVD diamond},
author = {Le Li},
journal= {arXiv preprint arXiv:2002.02217},
year = {2020}
}
备注
7pages,6figures