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通过指数电压下降技术制备具直孔与分级结构的多孔阳极氧化铝(PAA)模板

应用物理 2019-10-25 v1 材料科学

摘要

通过施加指数电压下降工艺继以湿化学蚀刻,孔底部的氧化阻挡层已被成功减薄。电势降对多孔阳极氧化铝(PAA)结构的影响,以及电解液温度、电势步数与指数衰减速率已被深入研究。本文结果显示,尽管在PAA合成中施加了指数电压衰减,通过阳极氧化条件与指数电压衰减参数间的巧妙调节,可获得直孔并同时去除介电层。此外,PAA结构可被调控以制备具2至10个分支二级孔的分级纳米孔模板。所提出的简易流程旨在成为基于PAA模板的下一代器件制备的标准步骤。

关键词

引用

@article{arxiv.1910.11197,
  title  = {Fabrication of porous anodic alumina (PAA) templates with straight pores and with hierarchical structures through exponential voltage decrease technique},
  author = {Leandro Sacco and Ileana Florea and Costel Sorin Cojocaru},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1910.11197},
  year   = {2019}
}