用于双针尖扫描隧道显微镜的片上探针制备
应用物理
2020-11-03 v1 介观与纳米尺度物理
强关联电子
摘要
将多探针与双针尖STM的探针间距缩减至纳米尺度，一直是一项长期且技术困难的挑战。近期的多探针系统通过使用两个独立驱动的传统金属丝针尖实现约30 nm间距，取得了显著进展。对于简单对齐与固定间距具有优势的情形，我们在此展示一种片上双针尖器件的制备，其集成两个机械固定的金针尖，针尖间距仅35 nm。我们利用高质量SiN优异的机械、绝缘与介电特性作为基底材料，以实现易于实施、通过光刻定义且机械稳定的针尖。凭借其大接触焊盘与可调占位面积，这些新型针尖可轻松集成于大多数现有商用STM/AFM联用系统。
引用
@article{arxiv.2011.00769,
title = {Fabrication of on-chip probes for double-tip scanning tunneling microscopy},
author = {Maarten Leeuwenhoek and Freek Groenewoud and Kees van Oosten and Tjerk Benschop and Milan P. Allan and Simon Gröblacher},
journal= {arXiv preprint arXiv:2011.00769},
year = {2020}
}