铝基 SQUID 传输线的制备与表征
介观与纳米尺度物理
2019-12-11 v1 量子物理
摘要
我们报道了 50 欧姆、磁通可调、低损耗、基于 SQUID 的传输线的制备与表征。该制备工艺依赖于通过原子层沉积（ALD）在 SQUID 阵列上沉积一层薄介电层（数十纳米），随后整个结构被非超导金属顶地平面覆盖。我们给出了五块不同样品的实验结果。我们通过测量这些结构中的传播相位，系统性地表征其微观参数。我们还研究了损耗，并区分了导体损耗与介电损耗。该制备方法具有若干优势。首先，SQUID 阵列的制备不依赖铌三层工艺，而是更简单的双角度蒸发技术。其次，ALD 提供高质量介电层，从而产生低损耗器件。此外，SQUID 阵列制备基于标准的全铝工艺，可与超导量子比特直接集成。而且，我们的器件可原位磁通调谐，从而缓解任何制备工艺固有的不确定性。最后，单位晶胞为单个 SQUID（无需额外对地电容），可便捷地周期性调制单位晶胞尺寸，实现能带工程。该制备工艺可直接应用于行波参量放大器。
引用
@article{arxiv.1907.10162,
title = {Fabrication and characterization of aluminum SQUID transmission lines},
author = {Luca Planat and Ekaterina Al-Tavil and Javier Puertas Martinez and Remy Dassonneville and Farshad Foroughi and Sebastien Leger and Karthik Bharadwaj and Jovian Delaforce and Vladimir Milchakov and Cecile Naud and Olivier Buisson and Wiebke Hasch-Guichard and Nicolas Roch},
journal= {arXiv preprint arXiv:1907.10162},
year = {2019}
}
备注
9 pages, 9 figures, Appendixes