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由对称性约束稳定的外延铁电铪氧化物

材料科学 2024-08-27 v2

摘要

由于基于 HfO2_2 的纳米级厚度薄膜中铁电性的发现,铁电存储器在过去十年经历复兴。这些薄膜展现出卓越的硅兼容性,克服了阻碍钙钛矿铁电体用于高密度集成电路的缩放与集成障碍。铪氧化物薄膜中负责铁电性的确切相仍有争议,尚未确定能热力学稳定铁电相的单一因素。在此,借助筛选广泛外延条件的高通量(HT)密度泛函理论(DFT)计算支持,我们明确证明,使用如钇稳定氧化锆(YSZ)和 SrTiO3_3 等常见衬底可实现的具体外延条件,可在热力学上有利于极性 Pca21_1 相优于其他极性相(如 R3m 和 Pmn21_1)以及非极性 P21_1/c 相。衬底对称性约束诱导的剪切应变对于 Pca21_1 的偏好至关重要。应变-稳定性相图解决了实验-理论分歧,并可指导外延铪氧化物薄膜铁电性能的改进。

关键词

引用

@article{arxiv.2304.07057,
  title  = {Epitaxial ferroelectric hafnia stabilized by symmetry constraints},
  author = {Tianyuan Zhu and Shiqing Deng and Shi Liu},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2304.07057},
  year   = {2024}
}