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利用石英晶体微天平的原子间能量交换

材料科学 2018-12-26 v1 原子物理

摘要

我们提出了一种实验方法,用于全面表征薄膜表面层物理气相沉积过程中粒子的能量交换。我们的方法基于对石英晶体 μ\mu-天平因粒子相互作用引起的振荡频率扰动的细致观测。利用该技术,可测量蒸发过程中原子的动量交换,并确定均匀能量分布下的理想蒸发速率。我们得以追踪首批层形成后粒子的脱附动力学。这些结果与蒸发材料的表面结合能密切相关,其为获得所需薄膜表面层性质提供了更好的控制。我们将该技术应用于研究多种元素(通常用于薄膜表面层开发,如 Cu、W、Au、Gd 与 In)的物理气相蒸发过程,并确认我们的结果与此前使用低温光致发光等其他技术的测量一致。

关键词

引用

@article{arxiv.1807.03372,
  title  = {Energy exchanges between atoms with a quartz crystal $\mu$-balance},
  author = {Milena Guevara-Bertsch and Andrés Chavarría-Sibaja and Alejandro Godínez-Sandí and Óscar Andrey Herrera-Sancho},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1807.03372},
  year   = {2018}
}