改进型透明导电氧化物 (TCO) 薄膜的电学、光学和结构特性
材料科学
2013-10-11 v1
摘要
对透明导电氧化物 ITO 进行高频 (GW) 后处理，可显著改善其光学透过率和电导率。对于多层结构中的 ITO 薄膜也是如此。这些改善发生在不影响下层（多层器件的其他层）的情况下。该方法具有极高的选择性，仅能处理目标薄膜（层）。
引用
@article{arxiv.1310.2826,
title = {Electrical, Optical and Structural Properties of Improved Transparent Conductive Oxide TCO Films},
author = {Wahid Shams-Kolahi and Nazir P. Kherani},
journal= {arXiv preprint arXiv:1310.2826},
year = {2013}
}
备注
4 pages, 2 Figures and 1 Table