迈向集成超材料电子学：氧化铟锡精确光学与电学特性的整体研究方法
应用物理
2019-01-17 v4
摘要
透明导电氧化物类材料包含氧化铟锡（ITO）这一材料，其已成为现代日常生活中广泛使用的材料，例如智能手机和手表的触摸屏，同时也用作光伏产业中光学透明且低电阻的电接触材料。近来，ITO在通信频段展现出近零介电常数（ENZ）行为，使得强折射率调制及其他光学奇异应用（如超材料电子学）成为可能。然而，由于ITO内部复杂的本征效应，精确获取其目标电学与光学材料特性仍具挑战，迄今为止尚未有集成超材料电子学平台被证实。本文给出射频溅射工艺参数的详尽且精确的描述，展示了对可见光尤其是近红外光谱区ITO薄膜质量的整体控制。我们进一步通过显式控制溅射工艺条件，可在通信波段内定制设计ENZ点。利用该控制能力，我们基于集总电路元件设计了一种功能化亚波长尺度滤波器，朝着实现集成超材料电子学器件与电路迈进。
引用
@article{arxiv.1811.08344,
title = {Towards integrated metatronics: a holistic approach on precise optical and electrical properties of Indium Tin Oxide},
author = {Yaliang Gui and Mario Miscuglio and Zhizhen Ma and Mohammad T. Tahersima and Shuai Sun and Rubab Amin and Hamed Dalir and Volker J. Sorger},
journal= {arXiv preprint arXiv:1811.08344},
year = {2019}
}