使用原子力显微镜对半导体碳纳米管进行电气纳米探测
介观与纳米尺度物理
2009-11-10 v3 材料科学
摘要
我们使用原子力显微镜（AFM）指针对半导体碳纳米管晶体管的电子性质进行局部探测。一金属涂层的 AFM 指针作为电压或电流探针用于三探针测量 setup。将指针作为可移动电流探针使用时，我们研究器件特性随通道长度的标度。将指针作为电压探针使用时，我们研究接触的性质。我们发现 Au 在 p 区制造良好接触，无粘结势垒。在 n 区发现较大的接触电阻，这些电阻主导了输运特性。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0305108,
title = {Electrical Nanoprobing of Semiconducting Carbon Nanotubes using an Atomic Force Microscope},
author = {Y. Yaish and J. -Y. Park and S. Rosenblatt and V. Sazonova and M. Brink and P. L. McEuen},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0305108},
year = {2009}
}
备注
4 pages, 5 figures