掺杂剂空间分布：样本无关响应函数与最大熵重构
材料科学
2009-10-30 v1
摘要
我们展示了利用基于最大熵的反卷积方法，从生长在硅中不同间距的硼δ层系统的二次离子质谱（SIMS）深度剖面重构硼空间分布的过程。通过一种新方法获得了样本无关的响应函数，该方法降低了将真实样本行为纳入响应的风险。尽管不同初级离子能量的原始剖面看起来差异很大，但重构的分布彼此吻合良好。重构数据中的深度分辨率显著提高，并且清晰地显示了硼在δ层近表面侧的偏析。
引用
@article{arxiv.cond-mat/9709313,
title = {Dopant Spatial Distributions: Sample Independent Response Function And Maximum Entropy Reconstruction},
author = {D. P. Chu and M. G. Dowsett},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/9709313},
year = {2009}
}
备注
5 two-columne pages, 3 postscript figures, to appear in Phys. Rev. B15