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介电梯子暴露于低能电子束时的介电梯子扬起

应用物理 2020-11-19 v1 计算物理 等离子体物理

摘要

应用粒子在胞模拟研究纳米尺寸介电梯子从暴露于低能电子束的介电基底上扬起的现象。文章讨论了此类基底与其上所躺粒子之间的电子积累,其可导致粒子扬起。该结果对于半导体工业中的尘埃抑制、月球探测以及尘埃悬浮的解释具有意义。

关键词

引用

@article{arxiv.2001.07992,
  title  = {Dielectric particle lofting from dielectric substrate exposed to low energy electron beam},
  author = {P. V. Krainov and V. V. Ivanov and D. I. Astakhov and M. A. van de Kerkhof and V. V. Kvon and V. V. Medvedev and A. M. Yakunin},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2001.07992},
  year   = {2020}
}

备注

5 pages, 5 figures