具有两种不同粒子尺寸的尘埃等离子体中的相变
天体物理学
2008-11-26 v1
摘要
在半导体制造中，颗粒物污染显著降低器件制造的良率和质量，从而增加生产成本。尘埃颗粒云几乎存在于所有等离子体加工环境中，包括等离子刻蚀装置和等离子沉积工艺。悬浮在等离子体中的尘埃颗粒会通过与自由电子碰撞获得电荷。如果粒子间势能与平均动能之比足够大，颗粒将形成具有短程序的液态结构或具有长程序的晶态结构。否则，尘埃颗粒系统将保持气态。过去十年里，许多实验在胶体等离子体上进行以探明形成的系统特性，但仍需更多工作以完全理解这些结构。以往实验大多使用单分散球体形成复杂等离子体系统。
引用
@article{arxiv.astro-ph/0508489,
title = {Phase Transitions in a Dusty Plasma with Two Distinct Particle Sizes},
author = {B. Smith and T. Hyde and L. Matthews and J. Reay and M. Cook and J. Schmoke},
journal= {arXiv preprint arXiv:astro-ph/0508489},
year = {2008}
}