利用离子束辅助沉积在非晶聚合物表面开发织构氧化镁模板
材料科学
2013-09-24 v1
摘要
利用离子束辅助沉积 (IBAD) 技术，已在包括 Kapton 胶带、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA) 和光刻胶薄膜在内的多种非晶聚合物薄膜上成功制备了双轴织构 MgO 模板。通过在聚合物表面引入 Y2O3 缓冲层，可有效减少因优先离子束溅射导致的聚合物表面粗糙化，从而满足 IBAD-MgO 织构化的表面兼容性要求。在 IBAD-MgO 模板上生长的同质外延 MgO 薄膜，其面内半高宽 (FWHM) 约为 10.7 度，面外 FWHM 约为 3.5 度。该方法为柔性光电子学所需的聚合物基外延器件制造提供了一条实用途径。
引用
@article{arxiv.1309.5514,
title = {Development of Textured Magnesium Oxide Templates on Amorphous Polymer Surfaces Using Ion-Beam-Assisted-Deposition},
author = {Alan J. Elliot and Ronald N. Vallejo and Rongtao Lu and Judy Z. Wu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1309.5514},
year = {2013}
}
备注
8 pages, 3 figures