通过光散射数据反演确定二维随机粗糙介电表面的归一化表面高度自相关函数

基于相位微扰理论，得到了当二维随机粗糙介电表面被s偏振光照射时，从该表面漫散射光的面内同极化分量对平均微分反射系数的贡献的表达式。该结果构成了一种反演实验光散射数据以获得表面归一化表面高度自相关函数方法的基础。该相关函数的几种参数化形式，以及针对定义这些表示的参数的代价函数最小化，被用于反演方案。该方法还给出了表面粗糙度的均方根高度，以及如果事先未知则给出介电衬底的介电常数。用于验证该反演的输入数据包括由指数和高斯表面高度相关函数定义的表面的计算机模拟结果，无和添加乘性噪声，针对单一或多个入射角。该方法获得的重建对于弱粗糙表面相当准确，且提出的反演方案计算高效。