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通过逆均匀化方法确定柱状薄膜的构成和形态参数

光学 2015-05-14 v1

摘要

假设在纳米尺度上,介电柱状薄膜(CTF)是由各向同性介电材料制成的平行、相同、细长椭球状夹杂物组成的集合体,该材料的折射率不同于用于制造 CTF 的蒸发体材料,我们理论上研究了这种宏观上由相对介电常数并矢表征的 CTF。发展了逆 Bruggeman 均匀化形式,以便从 CTF 的相对介电常数并矢的知识出发,估计沉积材料的折射率、椭球状夹杂物的两个形状因子之一以及沉积材料所占的体积分数。采用修正的 Newton-Raphson 技术求解逆 Bruggeman 方程。数值研究揭示了 CTF 的三个纳米尺度参数如何随蒸气入射角变化。

关键词

引用

@article{arxiv.0909.5375,
  title  = {Determination of constitutive and morphological parameters of columnar thin films by inverse homogenization},
  author = {Tom G. Mackay and Akhlesh Lakhtakia},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0909.5375},
  year   = {2015}
}