周期性图案化柱状薄膜作为闪耀光栅
光学
2015-06-11 v2
摘要
通过蒸发 CaF2 并将蒸汽流斜向沉积到光刻制造的微米/亚微米光栅上，制备了周期性图案化柱状薄膜（PP-CTFs）。通过控制沉积速率来控制 PP-CTFs 的生长，从而在其内部形成棱柱形空气腔，使其功能类似于闪耀衍射光栅，在可见光波长下具有不对称的衍射图样，透射衍射效率高达 52%。标量衍射理论定性地解释了测得的衍射效率。
引用
@article{arxiv.1209.5264,
title = {Periodically patterned columnar thin films as Blazed gratings},
author = {Jhuma Dutta and S. Anantha Ramakrishna and Akhlesh Lakhtakia},
journal= {arXiv preprint arXiv:1209.5264},
year = {2015}
}
备注
7 pages, 3 figures