通过闪光灯退火在玻璃上结晶压电陶瓷薄膜

在玻璃上集成薄膜氧化物压电材料对于下一代透明电子器件实现传感与致动功能至关重要。然而，其结晶温度（高于 650 °C）与大多数玻璃不兼容。我们开发了一种用于生长压电锆钛酸铅薄膜的闪光灯工艺。该工艺仅在数秒内即可在各种类型玻璃上实现结晶。这些薄膜的功能特性可与在 700 °C 标准快速热退火处理的薄膜相媲美。利用 1 μm 厚薄膜（压电常数 e$_{33,f}$ 为 -5 C m$^{-2}$）制备了表面触觉器件。其在 60 V 下的超声表面偏转达到 1.5 μm，足以用于表面渲染应用。该闪光灯退火工艺与大型玻璃板和卷对卷加工兼容，有潜力显著拓展玻璃上压电器件的应用。