基于氧化铜纳米线的湿度传感器

本文介绍了将氧化铜纳米线用作湿度传感器的研究结果。采用热退火技术在 SiO2 衬底上的交叉梳状金电极上生长氧化铜纳米线薄膜，并通过金电极间的电阻研究了其湿敏特性。这些氧化铜纳米线薄膜表现出高灵敏度、长期稳定性和快速响应时间。研究发现，所制备传感器金电极间的电阻随湿度增加而下降，在对数尺度上几乎呈线性关系。这表明氧化铜纳米线可用作低成本湿度传感器，具有高输出可靠性和重复性。观测在室温（RT）和 6% 至 97% 的相对湿度（RH）范围内进行。